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參數(shù)/機(jī)型
VMS-5040H
工作臺
金屬臺尺寸（mm）
786×636
玻璃臺尺寸（mm）
570×470
運(yùn)動行程（mm）
470×370
X、Y、Z軸數(shù)顯分辨力
0.5μm
示值誤差
E1XY=(2.5＋L/100)μm
影像系統(tǒng)
攝像機(jī)：1/2”彩色CCD攝像機(jī)
0.7~4.5×變焦鏡頭，總視頻放大倍率為20～128×（19.5”顯示器，分辨率1440*900）
物方視場：11.1mm～1.7mm
電源：AC 220V 50/60Hz； 功率：400W（不包含電腦）
儀器外形尺寸(L×W×H)
1200×1270×1870
Z軸升降行程（mm）
200 （可訂購至400mm）
儀器重量（Kg）
850
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