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參數(shù)/機(jī)型
VMS-6060H
VMS-6090H
VMS-0810H
VMS-1012H
VMS-1215H
工作臺
X,Y軸行程(mm)
600 * 600
600 * 900
1208 * 885
1408 * 1085
1708 * 1285
Z軸行程(mm)
200調(diào)焦及輔助測量
玻璃臺尺寸(mm)
640 * 770
640 * 1070
1280 * 985
1468 * 1185
1808 * 1385
工作氣壓(mm)
≥0.5MPa
數(shù)字測量系統(tǒng)
光柵尺分辨力：X、Y、Z軸0.0005
0.7~4.5×變焦鏡頭，總視頻放大倍率為20~128×
X,Y軸馬達(dá)運動速度
<300mm/s
Z軸馬達(dá)運動速度
<50mm/s
儀器外形尺寸(L×W×H)
1500×1300×1510
1800×1300×1510
2170×2380×1560
2370×2580×1560
2570×2880×1560
儀器重量(Kg)
1281
1500
3260
3750
4520
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