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高端精密光學(xué)檢測
precision optical inspection
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萬濠金相顯微鏡
金相顯微鏡是一種高精度和高效率的測量儀器，它可以將圖像，目鏡和納米級高度納入考慮范圍，并將光學(xué)，機械，電子，計算和視頻集成在一起。
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產(chǎn)品特點
技術(shù)參數(shù)
序號
內(nèi)容
1
X，Y和Z軸線性刻度分辨率：0.5μm
2
電動Z軸分辨率：0.1μm
3
自動測量高度
4
置光學(xué)模塊，用于測量偏振光
5
高速/非接觸式測量
6
提供同軸表面光測量或底部光測量
7
可以與白光納米測量模塊配套使用，以測量納米級厚度的物體
8
該儀器具有兩個瞄準系統(tǒng)：電視圖像和視覺光學(xué)系統(tǒng)，可用于觀察金屬表面的金相結(jié)構(gòu)
9
儀器主要是適用于2D測量，有時也適用于3D輔助測量
10
它廣泛用于制造領(lǐng)域，例如電子零件，精密模具，精密工具，塑料，PCB等。
型號
MTM-3020MA
工作臺
金屬桌尺寸 (mm)
500 x 330
玻璃桌尺寸 (mm)
350 x 250
X, Y-軸行 (mm)
300 x 200
手動Z軸行程 (mm)
120
Z軸自動行進 (mm)
2
儀器尺寸 (mm)
825 x 660 x 910
重量 (kg)
130
解析度 (μm)
0.5
電動Z軸分辨率 (μm)
0.1
指示錯誤 (μm)
E=( 2.5+ L/100) μm (L 是被測物體的長度。單位: mm)
鏡頭倍率誤差
<=0.08% (包括失真)
透射照明
鹵素?zé)袅炼瓤烧{(diào)
底部照明
亮度可調(diào)的LED
目鏡系統(tǒng)
影像系統(tǒng)
鏡頭倍率
5X, 10X, 20X, 50X
5X, 10X, 20X, 50X; 10X Mirau lens
目鏡倍率
10X dual lens cone
1/2"CCD camera
總放大倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5英寸顯示屏。 分辨率：1440 x 900
單層透明測厚模塊
高分辨率模式
快速模式
測量范圍
100nm ~300nm
300nm ~500nm
500nm ~3μm
3μm ~20μm
解析度
5nm
5nm
7.5nm
0.1μm
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