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X軸坐標(biāo)行程 (mm)

150

200

250

300

400

Y軸坐標(biāo)行程 (mm)

100

100

150

200

300

金屬臺(tái)面尺寸 (mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

606×466

玻璃臺(tái)面尺寸 (mm)

210×160

260×160

306×196

350×250

450×350

X、Y軸坐標(biāo)分辨力 (μm)

0.5

0.5

0.5

0.5

0.5

示值誤差(μm)

E1XY=(2.5+L/100)

Z軸坐標(biāo)行程 (mm)

100 (調(diào)焦)

100 (調(diào)焦)

100 (調(diào)焦)

100 (調(diào)焦)

100 (調(diào)焦)

儀器重量（kg）

160

160

180

250

250

儀器尺寸 (mm)

780×780×1100

810×780×1120

810×780×1120

900×780×1020

1040×780×1120

投影屏

尺寸 (mm)

Ф 312，使用范圍>Ф300（刻有米字線）

旋轉(zhuǎn)范圍

0~360°

旋轉(zhuǎn)分辨力

1' or 0.01°

物鏡

放大倍數(shù)

10× (選)

20× (選)

50× (選)

100× (選)

物方視場(chǎng) (mm)

Ф30

Ф15

Ф6

Ф3

工作距離 (mm)

77.7

44.3

38.4

25.3

測(cè)量最大高度(mm)

90

90

90

90

儀器電源: AC 100-240V 50/60Hz，總功率: 400W